Silikon Oksidasyonu

56. Sayı, 1981

s. 24-25

Pekşen, H. (1981). Silikon Oksidasyonu. Zafer, 56, 24–25

Silikon dioksidin birikme hızı ve silikondioksidin seçilerek kaldırılmasının şemasının çizimleri bulunmaktadır.

fotorezist silikondioksit fotorez buhar oksijen

Aynı Sayıdaki Diğer Makaleler

Kullanım Koşulları ve Gizlilik Politikasını okudum, kabul ediyorum.*