Silikon Oksidasyonu

s. 24-25

Pekşen, H. (1981). Silikon Oksidasyonu. Zafer, 56, 24–25

Silikon dioksidin birikme hızı ve silikondioksidin seçilerek kaldırılmasının şemasının çizimleri bulunmaktadır.

fotorezist silikondioksit fotorez buhar oksijen

Aynı Sayıdaki Diğer Makaleler